GAS相を含む状態図 GAS相を含む状態図 Si-rich側 １気圧を計算。 GAS相には、SI, SI2, SI3, SIN, SI2N, N, N2, N3 のガス種を定義している。 公開文献 2003 に記載されている熱力学パラメータを用いた。 一覧へ戻る
GAS相を含む状態図
GAS相を含む状態図 Si-rich側
１気圧を計算。
GAS相には、SI, SI2, SI3, SIN, SI2N, N, N2, N3 のガス種を定義している。
公開文献 2003 に記載されている熱力学パラメータを用いた。
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